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用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的研究和開(kāi)發(fā)的各個(gè)方面

點(diǎn)擊次數(shù):2899 更新時(shí)間:2015-10-24
 用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的研究和開(kāi)發(fā)的各個(gè)方面
 
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)測(cè)試和開(kāi)發(fā)各種不同的微粒,材料,濃度,氧化劑,抑制劑等的拋光液
 
•測(cè)試和開(kāi)發(fā)不同的材料,溝槽形狀,尺寸,彈性,壽命等
 
•測(cè)試和發(fā)展拋光墊調(diào)節(jié)裝置來(lái)優(yōu)化拋光墊的損耗率,修整,效率等
 
•開(kāi)發(fā)CMP定位環(huán)材料來(lái)優(yōu)化摩擦,磨損,壽命等
 
•測(cè)試去除率,重復(fù)性缺陷,工藝優(yōu)化等,研究或開(kāi)發(fā)各種應(yīng)用的各種材料
 
•半導(dǎo)體方面-銅,Ta,TaN,Al,Si,SiO,Ru,WC,solarcells,PVD,CVD,薄膜等
 
•化合物半導(dǎo)體-砷化鎵,銦,磷化物,汞,鎘
 
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)應(yīng)用生物材料-牙,骨,鈦,鋼鐵制品等。
 
•光電材料–LED,藍(lán)寶石,紅外窗口拋光激光材料,顯微鏡頭,微光學(xué),鈮酸鋰,鉭酸鋰,磷酸氧鈦鉀等。
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