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白光干涉儀的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域

點(diǎn)擊次數(shù):2719 更新時(shí)間:2016-01-26
 白光干涉儀特點(diǎn):  
1、非接觸式測量:避免物件受損。  
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm---200μm。  
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。  
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。  
5、高速數(shù)字信號處理器:實(shí)現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。  
6、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng)。  
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓
8、測量軟件:基于windows/Mac/操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。  
白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:  
1、半導(dǎo)體晶片  
2、液晶產(chǎn)品(CS,LGP,BIU)  
3、微機(jī)電系統(tǒng)  
4、光纖產(chǎn)品  
5、數(shù)據(jù)存儲盤(HDD,DVD,CD)  
6、材料研究  
7、精密加工表面  
8、生物醫(yī)學(xué)工程  
 
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